1991年 - 1991年 ファジー制御理論を適用したダイヤモンド半導体基板の熱化学複合研磨加工に関する研究 日本学術振興会 科学研究費助成事業 奨励研究(A) 奨励研究(A) 厨川 常元 課題番号 03750080 体系的課題番号 JP03750080 担当区分 研究代表者 配分額 (総額) 900,000円 (直接経費) 900,000円 リンク情報 KAKENhttps://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03750080 ID情報 課題番号 : 03750080体系的課題番号 : JP03750080
