1994年
反射光の微分による自動焦点検出機能を備えたレーザ光描画装置の開発
光学
- ,
- 巻
- 23
- 号
- 5
- 開始ページ
- 310
- 終了ページ
- 314
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 応用物理学会分科会日本光学会
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40001175002
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00080324
- URL
- http://id.ndl.go.jp/bib/3879027
- ID情報
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- ISSN : 0389-6625
- CiNii Articles ID : 40001175002
- CiNii Books ID : AN00080324