佐藤一雄 (Kazuo Sato) - マイポータル

基本情報

所属: -愛知工業大学教授
: 横浜国立大学監事

学位: 博士(工学)(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901003598858745
researchmap会員ID: 1000182352

外部リンク: http://aitech.ac.jp/~micron/

研究キーワード

研究分野

経歴

2014年3月 - 現在

横浜国立大学, 監事(非常勤)
2012年4月 - 現在

愛知工業大学, 教授

委員歴

2012年 - 2013年

日本機械学会, マイクロナノ工学部門初代部門長
2010年

精密工学会, 副会長
2009年

精密工学会, フェロー
2009年

JSPE: Japan Society for Precision Engineering, Fellow
2006年 - 2007年

日本機械学会, 理事
2006年 - 2007年

精密工学会, 理事
2006年 - 2007年

The Japan Society of Mechanical Engineers, Board Menber
2006年 - 2007年

The Japan Society for Precision Engineering, Board Member
2006年

電気学会, 上級会員
2006年

IEE Japan: Institute of Electrical Engineers of Japan, Senior member
2002年 - 2004年

電気学会, E準部門会計理事
2002年 - 2003年

JSPE: Japan Society for Precision Engineering, Councilor
2003年

日本機械学会, フェロー、名誉員(現在)
2003年

JSPE: Japan Society for Precision Engineering, Director of Tokai Chapter
2003年

JSME: Japan Society of Mechanical Engineers, Fellow
2001年 - 2002年

日本機械学会, 評議員
2001年 - 2002年

JSME: Japan Society of Mechanical Engineers, Councilor
1997年

IEEE：米国電気電子工学会, 正員

受賞

2010年

日本工学教育協会著作賞
2010年

日本機械学会2009年度船井特別賞
2009年

平成23年度文部科学大臣表彰科学技術賞, 文科省

佐藤一雄
2009年

Valued Reviewer, Sensors and Actuators A:Physical
2007年

（社）日本機械学会創立110周年記念功労賞
2007年

第63回電気学術振興賞（著作賞）
1999年

日本機械学会東海支部賞アントレプレナ-賞
1999年

JSME Tokai Entrepreneur Award
1994年

計測自動制御学会論文賞
1994年

Paper Award of Society of Instrumentation and Control Engineers
1989年

精密工学会技術賞
1989年

Technology Award of Japan Society for Precision Engineering
1986年

日本塑性加工学会論文賞
1986年

Paper Award of Japan Society for Technology of Plasticity

MISC

682

Fabrication methods based on wet etching process for the realization of silicon MEMS structures with new shapes

Prem Pal, Kazuo Sato

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS 16(7) 1165-1174 2010年7月
Fabrication methods based on wet etching process for the realization of silicon MEMS structures with new shapes

Prem Pal, Kazuo Sato

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS 16(7) 1165-1174 2010年7月
Study of surfactant-added TMAH for applications in DRIE and wet etching-based micromachining

B. Tang, M. Shikida, K. Sato, P. Pal, H. Amakawa, H. Hida, K. Fukuzawa

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 20(6) #065008 2010年6月
Study of surfactant-added TMAH for applications in DRIE and wet etching-based micromachining

B. Tang, M. Shikida, K. Sato, P. Pal, H. Amakawa, H. Hida, K. Fukuzawa

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 20(6) #065008 2010年6月
Silicon Micromachining Based on Surfactant-Added Tetramethyl Ammonium Hydroxide: Etching Mechanism and Advanced Applications

Prem Pal, Miguel A. Gosalvez, Kazuo Sato

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 49(5) #056702 2010年5月
Silicon Micromachining Based on Surfactant-Added Tetramethyl Ammonium Hydroxide: Etching Mechanism and Advanced Applications

Prem Pal, Miguel A. Gosalvez, Kazuo Sato

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 49(5) #056702 2010年5月
Octree-search Kinetic Monte Carlo

M. A. Gosalvez, Y. Xing, K. Sato, R. M. Nieminen

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 159(1) 64-68 2010年4月
Octree-search Kinetic Monte Carlo

M. A. Gosalvez, Y. Xing, K. Sato, R. M. Nieminen

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 159(1) 64-68 2010年4月
DEVELOPMENT OF PEN-SHAPED PORTABLE BIOCHEMICAL REACTION SYSTEM BASED ON MAGNETIC BEADS HANDLING

N. Inagaki, H. Hida, M. Shikida, M. Okochi, H. Honda, K. Sato

MEMS 2010: 23RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST 1091-1094 2010年
Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions

M. A. Gosalvez, P. Pal, B. Tang, K. Sato

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 157(1) 91-95 2010年1月
Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton

Y. Xing, M. A. Gosalvez, K. Sato, H. Yi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 20(1) #015019 2010年1月
Advanced MEMS applications using orientation dependent adsorption of surfactant molelcules in TMAH solution

Proc. 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT, Perth, Australia) FT13(p79) 2010年
Characterization of etching anisotropy in a surfactant-added TMAH solution, and its application to scalloping reduction

Proc. 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT,Perth, Australia) TP4 (P220) 2010年
Micromachined viscometer using gas-liquid separated resonator

Proc. 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT, Perth, Australia) #CSM7 (269) 2010年
Implantable flow sensor into airway for laboratory animal

Proc. 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT, Perth, Australia) #TP16 (P236) 2010年
Characteristics of thermal type flow sensor under reciprocating flow conditions

5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT, Perth, Australia) #TP20 (P237) 2010年
「第１回マイクロ・ナノ工学シンポジウム」小特集号発刊にあたって（巻頭言）

日本機械学会論文集C2編,「マイクロ・ナノ工学シンポジウム小特集」 76(768) 1881 2010年
ウェットエッチングによる特殊形状加工プロセスの新展開（単結晶シリコンの微細３次元加工の研究）

日本機械学会論文集C2編「マイクロ・ナノ工学シンポジウム小特集」 76(768) 1899-1901 2010年
TEM内における単結晶シリコン薄膜のその場引張試験

平成２２年度日本機械学会全国大会講演論文集，名工大 263-264 2010年
Forty-Five Degree Micromirror Fabrication Using Silicon Anisotropic Etching with Surfactant-Added Tetramethylammonium Hydroxide Solution

Hiroyuki Yagyu, Tadahiro Yamaji, Makoto Nishimura, Kazuo Sato

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 49(9) RP100243 2010年

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書籍等出版物

MEMSのためのシリコンバルクマイクロマシニング

プレム・パル, 佐藤一雄 (担当:共著)

Pan Stanford Publishing Pte. Ltd. 2017年4月 (ISBN: 9789814613729)
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

シーエムシー出版 2009年
大学版創造性モノづくり実習マニュアル（ＣＤ付）

マナハウス 2007年
Comprehensive Microsystems

Elsevier 2007年
Comprehensive Microsystems

Elsevier 2007年
EE Text センサ・マイクロマシン工学

オーム社 2005年
マイクロ化学チップの技術と応用

丸善 2004年
マイクロマシン

産業技術サービスセンター 2002年
訳：シリコンマイクロ加工の基礎（M. Elwenspoek, H. Jansen著）

シュプリンガー・フェアラーク東京 2001年
訳：シリコンマイクロ加工の基礎（M. Elwenspoek, H. Jansen著）

シュプリンガー・フェアラーク東京 2001年
半導体用語大辞典

日刊工業新聞社 1999年
エンサイクロペディア電子情報通信ハンドブック

オーム社 1998年
マイクロオプトメカトロニクスハンドブック

朝倉書店 1997年
計測制御技術事典

丸善 1995年
アドバンストセンサハンドブック

培風館 1994年
ナノメータスケール加工技術

日刊工業新聞社 1993年
生命機械工学

裳華房 1992年

所属学協会

Works(作品等)

シリコンMEMS構造体の疲労メカニズム解明

2009年 - 2009年
水晶エッチングレートデータの取得

2009年 - 2009年
シリコン結晶異方性エッチングを用いたMEMSの先進的設計とプロセス技術開発

2008年 - 2009年
シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究

2007年 - 2009年
Modeling of Anisotropic Etching of Silicon and the Effects of Ions in Solution

2007年 - 2009年
特殊アルカリ薬液に関するシリコン異方性エッチング特性の評価

2008年 - 2008年
シリコンMEMS構造体の疲労メカニズム解明

2007年 - 2008年
MEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法の標準化に関する研究開発

2006年 - 2008年
シリコンのエッチングメカニズム解明に関する研究

2006年 - 2007年
特殊アルカリ薬液に関するシリコン異方性エッチング特性の評価

2006年 - 2007年
シリコン結晶異方性エッチングの物理化学とMEMSへの応用展開

2005年 - 2007年
Physical Chemistry of Anisotropic Wet-Etching of Silicon Applied for MEMS

2005年 - 2007年
ものづくり市民公開講座第4回

2007年
ものづくり市民公開講座第5回

2007年
MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト

2006年 - 2006年
マイクロ構造体の長期信頼性評価技術

2005年 - 2006年
シリコンウェハの特殊異方性エッチング形状解析

2005年 - 2006年
ものづくり市民公開講座第2回

2006年
ものづくり市民公開講座第3回

2006年
エッチングで創り出す三次元微小構造体～結晶異方性を用いたマイクロナノ加工～

2006年

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佐藤一雄

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研究分野

経歴

委員歴

受賞

MISC

書籍等出版物

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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