特許権 パターン検査装置、パターン検出方法、パターン検出プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 大松 繁, 吉岡 理文 出願番号 特願2004-326728 出願日 1994年7月10日 公開番号 特開2004-326728 公開日 特許番号/登録番号 特許4339037 登録日 発行日 2007年7月11日