「超精密研削加工を実現するための基盤技術に関する研究」を推進するために,以下の2項目の研究計画を有機的に組み合わせて研究を実行した。
[1]超精密研削加工を実現させるための寸法・形状ならびに表面粗さの熱変形速度制御加工法の開発
超精密研削加工における寸法・形状精度ならびに表面粗さを,工作物の熱変形速度をインプロセスで計測しながら制御するためには,超精密研削盤のコントロールパネルとシーケンサーパネルにパソコンのD/Aコンバータからパルス状の指令信号を発振させてリアルタイムに適応制御できる制御加工法を確立することが不可欠である。そのためには,まず研削現象量つまり寸法生成量,形状生成量,研削抵抗値,砥石摩耗量,表面粗さなどのデータを高速A/Dコンバータで検出・格納し,これらの現象量を定量的に演算し,さらに超精密研削盤のシーケンサーへ割り込み制御するためのプログラムを構築することが必要となる。そこで,この熱変形速度制御研削加工法の研究計画が本研究の根幹をなすものであるから,際優先に全力で傾注した。
[2]超精密研削加工ニューロ&ファジィ制御法の構築
上記の研究計画で確立した熱変形速度制御法ならびにインプロセスオンライン計測システムに,新情報理論すなわちニューロ&ファジィ理論による制御システムを組み合わせることにより,確度の高い寸法・形状精度と表面粗さの知能的予見制御が実現した。