2018年
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第6報）:PCVM加工によるWolterミラーマンドレルの形状修正
精密工学会学術講演会講演論文集
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- 巻
- 2018
- 号
- 0
- 開始ページ
- 722
- 終了ページ
- 722
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.11522/pscjspe.2018A.0_722
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 精密工学会
<p>我々は大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたNC-PCVMによる，中性子顕微鏡用Wolterミラーの作製に取り組んでいる．PCVMは化学的な加工法であるため加工速度は表面温度に依存する．Wolterミラーマンドレルは楕円部と双曲部から成る合成石英製の回転体試料であるが，径の違いによりプラズマ照射による表面温度の上昇が異なるため加工速度の補正が必要となる．本報では加工速度補正を適用してマンドレルの形状修正に取り組んだ結果を報告する．</p>
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.11522/pscjspe.2018A.0_722
- CiNii Articles ID : 130007602782