2016年3月 超高温酸化と急速冷却によるSiC-MOS界面特性改善 2016年 第63回応用物理学会春季学術講演 染谷 満, 永井 大介, 細井 卓治, 志村 考功, 渡部 平司 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)