MISC

2009年12月

Proceedings of the 21st Symposium on Plasma Science for Materials Preface

THIN SOLID FILMS
  • Takayuki Watanabe
    • ,
  • Tatsuru Shirafuji
    • ,
  • Yikang Pu
巻
518
号
3
開始ページ
911
終了ページ
911
記述言語
英語
掲載種別
その他
DOI
10.1016/j.tsf.2009.07.155
出版者・発行元
ELSEVIER SCIENCE SA
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.07.155
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000272277200001&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.1016/j.tsf.2009.07.155
  • ISSN : 0040-6090
  • Web of Science ID : WOS:000272277200001
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