論文

査読有り 招待有り
2019年5月

Rethinking surface reactions in nanoscale dry processes toward atomic precision and beyond: a physics and chemistry perspective

Jpn. J. Appl. Phys.
  • K. Ishikawa
  • T. Ishijima
  • T. Shirafuji
  • S. Armini
  • E. Despiau-Pujo
  • R. A. Gottscho
  • K. J. Kanarik
  • G. J. Leusink
  • N. Marchack
  • T. Murayama
  • Y. Morikawa
  • G. S. Oehrlein
  • S. Park
  • H. Hayashi
  • K. Kinoshita
    • … 全て表示
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巻
58
号
開始ページ
SE0801
終了ページ
14pp
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.7567/1347-4065/ab163e
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab163e
ID情報
  • DOI : 10.7567/1347-4065/ab163e
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