書籍等出版物

2021年8月

Advances in Microelectronics: Reviews, Volume 3

  • Tso-Fu Mark Chang
    • ,
  • Hideaki Nakajima
    • ,
  • Chun-Yi Chen
    • ,
  • Daisuke Yamane
    • ,
  • Toshifumi Konishi
    • ,
  • Hiroyuki Ito
    • ,
  • Katsuyuki Machida
    • ,
  • Kazuya Masu
    • ,
  • Hiroshi Toshiyoshi
    • ,
  • Masato Sone
担当区分
共著
担当範囲
Chapter 5 Effective Young’s Modulus of Electrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers
出版者・発行元
International Frequency Sensor Association Publishing
DOI
ISBN
9788409333387
ID情報
  • ISBN : 9788409333387
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