MISC

2019年

ミストCVD法により作製されたα-(AlxGa1-x)2O3薄膜の構造評価

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • 橋本歩
    • ,
  • 仲林裕司
    • ,
  • 川江健
    • ,
  • 山田悟
巻
80th
号
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201902235246637978
ID情報
  • ISSN : 2436-7613
  • J-Global ID : 201902235246637978
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