2022年11月5日
Observation of Chemisorbed O<sub>2</sub> Molecule at SiO<sub>2</sub>/Si(001) Interface During Si Dry Oxidation
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
- ,
- ,
- ,
- ,
- 巻
- 21
- 号
- 1
- 開始ページ
- 30
- 終了ページ
- 39
- 記述言語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1380/ejssnt.2023-005
- 出版者・発行元
- Surface Science Society Japan
- リンク情報
- ID情報
-
- DOI : 10.1380/ejssnt.2023-005
- eISSN : 1348-0391