特許権 イオンビーム発生方法とそれを実施する為のイオンビーム発生装置 独立行政法人物質・材料研究機構 鈴木 拓, 山内 泰 出願番号 特願2006-321053 出願日 2006年11月29日 公開番号 特開2008-135309 公開日 2008年6月12日 特許番号/登録番号 特許第5051634号 登録日 発行日 2012年8月3日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303039269778557URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201303039269778557 ID情報 J-Global ID : 201303039269778557
