2013年6月13日
Fabrication of Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of
Journal of Physics Confference Series
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- 巻
- 441
- 号
- 012039
- 開始ページ
- 1
- 終了ページ
- 4
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）
- DOI
- 10.1088/1742-6596/441/1/012039
- 出版者・発行元
- Institute of Physics
- ID情報
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- DOI : 10.1088/1742-6596/441/1/012039