講演・口頭発表等

国際会議
2006年11月6日

Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere

7th Workshop on Advanced Quantum Beam and Cluster Ion Beam Process Technology
  • ?? Kazuya Ichiki
    • ,
  • Satoshi Ninomiya
    • ,
  • Toshio Seki
    • ,
  • Takaaki Aoki
    • ,
  • Jiro Matsuo
記述言語
英語
会議種別
ポスター発表
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