本研究では,ネガ型フォトレジストとグレースケールリソグラフィを用いた微細加工技術を開発した.そして,加工技術の応用例として厚み変化を有する微小振動梁アレイを製作し,広帯域で機能する音響センサを提案した.また,本加工技術により製作できるポア構造を利用して電場集中を誘導し,低電圧の細胞の電気穿孔法を可能とし,高精度の電流計測から局所電場計測を可能にした.