論文

査読有り
2003年

Difference of irradiation effects between Ar cluster ion and Ar+ for DLC film formation

APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY
  • Kitagawa T
    • ,
  • Miyauchi K
    • ,
  • Kanda K
    • ,
  • Matsui S
    • ,
  • Toyoda N
    • ,
  • Tsubakino H
    • ,
  • Matsuo J
    • ,
  • Yamada I
巻
680
号
開始ページ
755
終了ページ
758
リンク情報
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000186713800173&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • ISSN : 0094-243X
  • Web of Science ID : WOS:000186713800173
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