スパッタアニール A lN を用いた波長 2 30 n m 帯 U V LED の開発 第70回応用物理学会春季学術講演会 上杉 謙次郎, 市川 修平, 肖 世玉, 正直 花奈子, 中村 孝夫, 土谷, 正彦, 小島 一信, 三宅 秀人 開催年月日 2023年3月15日 - 2023年3月18日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般) 開催地 上智大学 国・地域 日本