梅野正隆 (Masataka Umeno) - マイポータル - researchmap

基本情報

学位: 工学博士(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901041725575927
researchmap会員ID: 1000030577

研究分野

3

経歴

7

1976年 - 1984年

大阪大学助教授
1976年 - 1984年

大阪大学
1965年 - 1976年

大阪大学助手
1965年 - 1976年

Osaka University, Research Assistant
1963年 - 1965年

大阪大学教務員
1963年 - 1965年

大阪大学
福井工業大学工学部経営情報学科, 教授

学歴

4

委員歴

2

1995年

精密工学会, 支部長
1989年 - 1990年

応用物理学会, 理事

MISC

68

Direct observation of the field-stimulated exoemission sites at tungsten surfaces using field ion microscopy

T. Shiota, M. Umeno, K. Dohkuni, M. Tagawa, N. Ohmae

Journal of Applied Physics 89(9) 5177-5182 2001年5月1日
Construction of Topography Station at Spring-8 and First Observations

J. Phys. D : Appl. Phys. 34(10A) A158-A162 2001年
Monitoring of Si Molecular-Beam Epitaxial Growth by an Ellipsometric Method

Jpn. J. Appl. Phys. 40(1) 371-375 2001年
Characterization of SOI wafers by X-ray CTR scattering

T. Shimura, T. Hosoi, M. Umeno

Journal of Crystal Growth 210(1) 98-101 2000年3月1日
Epitaxially ordered structure in the buried oxide layer of SIMOX wafers

T Shimura, T Hosoi, M Umeno

PHYSICS AND CHEMISTRY OF SIO2 AND THE SI-SIO2 INTERFACE - 4 2000(2) 241-249 2000年
Effect of Low-Energy Ion Bombardment upon Field-Stimulated Exoelectron Emission from Tungsten Surfaces

Tadashi Shiota, Sinji Kibi, Ryo Yamamoto, Masahito Tagawa, Nobuo Ohmae, Masataka Umeno

Japn. J. Appl. Phys. 39(2A) L110-L112 2000年
Microtribological Properties of Ultrathin C60 Films Grown by Molecular Beam Epitaxy, Wear

2000年
Transient exoelectron emission from a clean tungsten tip at 200-450 K triggered by the surface electric field

T Shiota, M Tagawa, N Ohmae

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 85(9) 6811-6815 1999年5月
LIGA Ni膜上の水分子吸着とマイクロトライボロジー

トライボロジスト 44(1) 46-52 1999年
低フラックス原子状態酸素ビームとポリイミド薄膜との表面反応(2) -紫外線の同時照射効果-

田川雅人, 末冨徹, 木之下博, 梅野正隆, 大前伸夫

日本航空宇宙学会論文集 47(543) 182-187 1999年
低フラックス原子状態酸素ビームとポリイミド薄膜との表面反応(1) -反応率の運動エネルギー依存性-

木之下博, 田川雅人, 梅野正隆, 大前伸夫

日本航空宇宙学会論文集 47(541) 88-94 1999年
Analysis of ordered structure of buried oxide layers in SIMOX wafers

T Shimura, T Hosoi, M Umeno

PROCEEDINGS OF THE NINTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON SILICON-ON-INSULATOR TECHNOLOGY AND DEVICES 99(3) 155-160 1999年
Surface Reaction of a Low Flux Atomic Oxygen Beam with a Spin-Coated Polyimide Film : Synergetic Effect of Atomic Oxygen and Ultraviolet Light, Transactions of the Japan Society for Aeronautics and Space Sciences

1999年
Transient Exoelectron Emission from a Clean Tungsten Tip at 200-450 K Triggered by the Surface Electric Field

J. Appl. Phys. 85(9) 6811-6815 1999年
Hyperthermal Atomic Oxygen Beam-Induced Etching of HOPG(0001)Studied by X-ray Photoelectron Spectroscopy and Scanning Tunneling Spectroscopy

Surf. Sci 440(1/2) 49-59 1999年
Detection of Defects in Metal Interconnects by the Nonbias-Optical Beam Induced Current Technique

J. Appl. Phys. 86(11) 5949-5956 1999年
Accurate Thickness Determination of Both Thin SiO₂ on Si and Thin Si on SiO₂ by Angle-Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy

Jpn. J. Appl. Phys. 38(7A) 4172-4179 1999年
Elimination of X-ray Photoelectron Diffraction Effect of Si(100)for Accurate Determination of SiO₂ Overlayer Thickness

Jpn. J. Appl. Phys. 38(7A) L770-L773 1999年
Effect of Ultrathin Top Silicon Layers on the X-ray Photoelectron Emission from the Buried Oxide in Silicon-on-Insulator Wafers

Toshiharu Katayama, Hidekazu Yamamoto, Masahiko Ikeno, Yoji Mashiko, Satoru Kawazu, Masataka Umeno

Jpn. J. Appl. Phys. 38(9A/B) L1058-L1061 1999年
Ordered Structure in Buried Oxide Layers of SOI Wafers

Jpn. J. Appl. Phys. 38(1) 297-300 1999年

もっとみる

書籍等出版物

5

Thermally Oxidized Layers on Si-Wafers-Surface X-ray Scattering and Field Ion Microscopy-

Advance in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms(Elsevier) 1997年
X-ray Diffraction Evidence for Crystalline SiO₂ in Thermal Oxide Layer on Si Substrates

Physics and Chemistry of SiO₂ Interface 3(The Electrochemical Society) 1996年
The Effect of Oxygen Adsorption on Field Stimulated Exoelectron Emission from High Purity Aluminum

Thin Films in Tribology, (Elsevier) 1993年
Synthesis of Tungten Disulfide on Tungsten-tip Directly inside FIM

Thin Films in Tribology, (Elsevier) 1993年
Generation of Silicon Interstitials by Thermal Oxidation of Silicon Wafers

Defect Control in Semiconductors, K. Sumino (ed), Elsevier 1990年

所属学協会

6

共同研究・競争的資金等の研究課題

7

SOI基板の構造評価

1997年
Investigation of Crystalline Perfection of SOI Wafers

1997年
シリコン熱酸化膜中の規則構造

1993年
Siの熱酸化機構

1985年
X線散乱による表面の研究
Study of Surface Structures by X-ray Scattering
Study of Thermal Oxidation of Silicon