特許権 Method for forming diamond-like carbon film Kenji HIRAKURI 出願番号 12/175128 出願日 2008年7月18日 公開番号 US 2009/0130325 A1 公開日 2009年5月21日 特許番号/登録番号 US 8394455 B2 登録日 発行日 2013年3月12日 取得国 外国
