2012年7月
六方晶AlN薄膜の膜性状と強度特性評価
材料
- ,
- 巻
- 61
- 号
- 7
- 開始ページ
- 598
- 終了ページ
- 603
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.2472/jsms.61.598
電子デバイスに多用される窒化アルミニウムを反応性スパッタ法によって製膜し,単軸負荷下における変形挙動を明らかにするとともに,その強度特性を検討し,膜性状と破壊機構について議論した。
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.2472/jsms.61.598
- ISSN : 0514-5163
- ISSN : 1880-7488
- SCOPUS ID : 84866997388