秋山 伸幸

J-GLOBALへ         更新日: 08/02/15 00:00
 
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研究者氏名
秋山 伸幸
 
アキヤマ ノブユキ
URL
http://hikari.nagaokaut.ac.jp
所属
旧所属 長岡技術科学大学 工学部 機械系
職名
教授
学位
工学修士(東京工業大学), 工学博士(東京工業大学)

研究キーワード

 
 

研究分野

 
 

経歴

 
1966年
 - 
1971年
東京工業大学 助手
 
1971年
 - 
1992年
日立製作所 研究員
 

学歴

 
 
 - 
1966年
東京工業大学 工学研究科 機械工学
 
 
 - 
1964年
東京工業大学 工学部 機械工学
 

委員歴

 
1990年
 - 
1993年
精密工学会  理事
 
1998年
 - 
2000年
エレクトロニクス実装学会  理事
 

受賞

 
1990年
計測自動制御学会 蓮沼賞
 

Misc

 
縞パターン投影式自動焦点系の理論解析(共著)
精密工学会欧文誌   26(3) 243-248   1992年
秋山 伸幸, 水野 文夫, 井古田 まさみ, 高見 勝己
精密工学会誌   58(11) 1909-1914   1992年
秋山 伸幸, 中田 俊彦, 牧平 坦, 芹澤 正芳, 土井 秀明, 水野 文夫, 野副 真理, 井古田 まさみ, 細江 卓朗, 近松 秀一, 神宮 孝広, 伊藤 慎, 阿部 茂
精密工学会誌   57(11) 1955-1960   1991年
精密工学会誌   56(7) 1304-1310   1990年

競争的資金等の研究課題

 
微細パターン外観検査の研究
ファインセラミックスクラック検出の研究
微細パターン3次元計測の研究

特許

 
異物検査方法
2069693
異物検査方法及び装置
2911274
露光方法
2728368
光学式測長装置
2668193
欠陥検査方法とその装置
3223483