2011年 冷却ガスを用いた半導体パッケージの高品位レーザダイシング 2011年度精密工学会岡山地方学術講演会 山本 響,岡本康寛,岡田 晃,北田良二,池田卓也 開催年月日 2011年10月8日 - 2011年10月9日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般) 主催者 精密工学会中国四国支部 開催地 岡山大学