産業財産権

特許権

微細構造素子製造装置及び微細構造素子生産方法

国立大学法人筑波大学

浅川潔
大河内俊介
尾崎信彦

出願番号: 特願2007-227281
出願日: 2007年9月3日
公開番号: 特開2009-059973
公開日: 2009年3月19日
特許番号/登録番号: 特許第5077880号
登録日
発行日: 2012年9月7日

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303095066413933
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201303095066413933

ID情報

J-Global ID : 201303095066413933

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