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山口 光臣
ヤマグチ ミツオミ (Mitsuomi Yamaguchi)
更新日: 2007/09/26
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研究キーワード
MISC
基本情報
所属
旧所属 鹿児島大学 大学院理工学研究科(工学系) ナノ構造先端材料工学専攻
大学院生
J-GLOBAL ID
200901034079869180
researchmap会員ID
5000029335
研究キーワード
6
ナノ構造
スパッタリング
薄膜
Nano-Structure
Sputtering
Thinfilm
MISC
2
対向ターゲット型スパタリング装置内のアルゴン原子の流れ
第50回応用物理学会関係連合講演会 公演予稿集NO1 2003年春季(1) 518 2003年
対向ターゲット型マグネトロンスパタリングにより成膜されたNiTi(x)形状記憶合金の特性と素子の制御性
第14回日本MRS学術シンポジウム(21世紀を創る先進的かつ総合的材料研究)プログラム要旨集 14 55 2002年
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