特許権 極低温マイクロスラッシュ生成システム 石本 淳 石本 淳 出願番号 特願2006-170710 出願日 2006年6月20日 公開番号 2008-002715 公開日 2008年1月10日 特許番号/登録番号 特許4961551 登録日 発行日 2012年4月6日