論文

査読有り
2017年5月22日

Post-deposition annealing effects on the insulator/semiconductor interfaces of Al2O3/AlGaN/GaN structures on Si substrates

Semiconductor Science and Technology
  • T. Kubo
  • ,
  • M. Miyoshi
  • ,
  • T. Egawa

32
開始ページ
065012-1
終了ページ
065012-5
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)

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