招待有り 2021年4月26日 室温接合技術と接合面の平滑性・清浄度の重要性(原子拡散接合法を例に) 公益社団法人精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 第189回研究会 島津 武仁 開催年月日 2021年4月26日 - 2021年4月26日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(基調) 開催地 オンライン会議 国・地域 日本 基調講演I