特許権 平滑面検査装置 国立大学法人東北大学 清水 裕樹, 高 偉, 蘆 文剣, 東 豊大 出願番号 特願2012-097818 出願日 2012年4月23日 公開番号 特開2013-224887 公開日 2013年10月31日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303027242973864URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201303027242973864 ID情報 J-Global ID : 201303027242973864