2009年5月 レーザー学会進歩賞 レーザー学会 藤田雅之, 末田敬一, 中田芳樹, 宮永憲明, 福士秀之, 江刺正喜, 田中秀治 タイトル 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発 受賞区分 国内学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国・地域 日本
