論文

2017年7月15日

Transient response of ALD-QCM with synchronized back pressure control of sensor head

The AVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2017)
  • Masafumi Kumano
  • ,
  • Kosuke Hikichi
  • ,
  • Shuji Tanaka

記述言語
英語
掲載種別
研究論文(国際会議プロシーディングス)

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