特許権 固体表面の平坦化方法及びその装置 日本航空電子工業株式会社 佐藤 明伸, 鈴木 晃子, ブーレル エマニュエル, 松尾 二郎, 瀬木 利夫, 青木 学聡 出願番号 JP2004014275 出願日 2004年9月29日 公開番号 WO2005-031838 公開日 2005年4月7日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903070129002305URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903070129002305 ID情報 J-Global ID : 200903070129002305