2020年
パルス干渉を用いたエタロン光学長の高精度計測:温度特性の評価
精密工学会学術講演会講演論文集
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- 巻
- 2020
- 号
- 0
- 開始ページ
- 632
- 終了ページ
- 633
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.11522/pscjspe.2020S.0_632
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 精密工学会
<p>エタロンを光コムパルス干渉に応用することによる長距離絶対測距が提案されている。この中で、エタロン光学長が測定精度に影響することが報告されている。本報告では、光コムとエタロン、両者の逓倍性を利用したエタロン光学長の高精度計測手法を提案する。実験の結果、50 mm程度のエタロンが数 nm程度の繰り返し精度で測定された。また、提案手法を用いてエタロンの温度特性の評価を行い、センサへの応用可能性が検討された。</p>
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.11522/pscjspe.2020S.0_632
- CiNii Articles ID : 130007896775