特許権 表面平坦化方法 シグマ光機株式会社 多幡 能徳, 平田 和也, 大津 元一, 八井 崇, 野村 航 出願番号 特願2008-004472 出願日 2008年1月11日 公開番号 特開2009-167030 公開日 2009年7月30日 特許番号/登録番号 特許第5139092号 登録日 発行日 2012年11月22日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303093355210738 ID情報 J-Global ID : 201303093355210738