特許権 窒化物半導体の製造方法、窒化物半導体、及び発光素子 国立大学法人三重大学 上杉謙次郎, 三宅秀人 出願番号 特願2018-192188 出願日 2018年10月10日 公開番号 特開2020-061473 公開日 2020年4月16日