特許権 半導体薄膜の作製方法およびヘテロ接合バイポーラトランジスタ 星拓也, 杉山弘樹, 横山春喜 出願番号 特願2013-239241 出願日 2013年11月19日 公開番号 特開2015-99859 公開日 2015年5月28日 特許番号/登録番号 特許6193738 登録日 発行日 2017年8月18日
