2018年
「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29 (2018).
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- 巻
- 118
- 号
- 229
- 開始ページ
- 25
- 終了ページ
- 29
柳谷 隆彦
ヤナギタニ タカヒコ (yanagitani takahiko)
更新日: 02/27