論文

査読有り 国際誌
2021年4月8日

Theoretical study on the effect of H2 and NH3 on trimethylgallium decomposition process in GaN MOVPE

Japanese Journal of Applied Physics
  • Soma Sakakibara
    • ,
  • Kenta Chokawa
    • ,
  • Masaaki Araidai
    • ,
  • Akira Kusaba
    • ,
  • Yoshihiro Kangawa
    • ,
  • Kenji Shiraishi
巻
60
号
4
開始ページ
045507
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.35848/1347-4065/abf089
出版者・発行元
IOP Publishing
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.35848/1347-4065/abf089
ID情報
  • DOI : 10.35848/1347-4065/abf089
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