齋藤洋司 (Yoji Saito) - マイポータル

基本情報

所属: 成蹊大学理工学部理工学科教授

学位: 工学博士(慶應義塾大学)
工学修士(慶應義塾大学)

J-GLOBAL ID: 200901028547367316
researchmap会員ID: 1000091678

外部リンク: http://www.sd.seikei.ac.jp/lab/device/

研究キーワード

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 /

経歴

2022年4月 - 現在

成蹊大学, 理工学部理工学科（兼担）, 教授
2012年4月 - 現在

成蹊大学, 理工学部システムデザイン学科, 教授
2005年4月 - 2018年3月

成蹊大学, 理工学部エレクトロメカニクス学科(併任), 教授
2001年4月 - 2010年3月

成蹊大学, 工学部電気電子工学科, 教授
1993年4月 - 2001年3月

成蹊大学, 工学部電気電子工学科, 助教授
1992年 - 2001年

Assistant Professor, Seikei University
2001年

- Professor, Seikei University
1998年9月 - 1999年9月

ノースカロライナ州立大学, 物理学科, 訪問研究員
1998年 - 1999年

Visiting Researcher, North Carolina State University
1992年4月 - 1993年3月

成蹊大学, 工学部電気電子工学科, 講師
1987年4月 - 1992年3月

豊橋技術科学大学, 電気電子工学系, 助手
1987年 - 1992年

Research Associate, Toyohashi University of Technology

学歴

1984年4月 - 1987年3月

慶應義塾大学大学院博士課程, 工学研究科, 電気工学専攻
- 1987年

慶應義塾大学
1982年4月 - 1984年3月

慶応義塾大学大学院修士課程, 工学研究科, 電気工学専攻
1978年4月 - 1982年3月

慶應義塾大学, 工学部, 電気工学科
- 1982年

慶應義塾大学

委員歴

2003年6月 - 現在

日本材料科学会, 理事
2012年11月 - 2013年4月

武蔵野市, 新エネルギー活用検討委員会委員長
2005年7月 - 2009年6月

電気学会, ユビキタス志向ナノマテリアル・プロセス技術調査専門委員会
2003年4月 - 2008年3月

日本材料科学会, 第２企画委員会委員長

受賞

論文

Fabrication of a Deoxyribonuclease Sensor Based on the Electrical Characteristics of DNA Molecules

Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito

ACS Omega 7(27) 23549-23554 2022年7月12日
Fabrication of a Deoxyribonuclease Sensor Based on the Electrical Characteristics of DNA Molecules

Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito

ACS OMEGA 2022年6月
Assessment of Deoxyribonuclease Activity Using DNA Molecules Immobilized Between Microelectrodes

Takahiro Himuro, Yoji Saito

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS 50(2) 537-542 2021年2月査読有り
Electrical evaluation of DNA stretched and immobilized between triangular-shaped electrodes

T. Himuro, S. Tsukamoto, Y. Saito

J. Electronic Materials 48(3) 1562-1567 2019年3月査読有り
Electrical detection of deoxyribonuclease using DNA molecules immobilized between microelectrodes

Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito

23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2019 1234-1235 2019年
ゾル-ゲル法により作製したタンタル・タングステンドープ酸化バナジウム膜の電気的特性

齋藤洋司, 齋藤和弘, 石橋直幸, 渡邊良祐

材料の科学と工学 55(6) 231-233 2018年12月査読有り
Cold atmospheric-pressure nitrogen plasma induces the production of reactive nitrogen species and cell death by increasing intracellular calcium in HEK293T cells.

Katsuya Iuchi, Yukina Morisada, Yuri Yoshino, Takahiro Himuro, Yoji Saito, Tomoyuki Murakami, Hisashi Hisatomi

Archives of biochemistry and biophysics 654 136-145 2018年9月15日査読有り
Optical and morphological properties of spin-coated triple layer anti-reflection films on textured silicon substrates

Ryosuke Watanabe, Takehiro Mariko, Yoji Saito

IEICE Transactions on Electronics E101C(4) 299-302 2018年4月1日査読有り
Development of deoxyribonuclease sensor using DNA molecules immobilized between microelectrodes

Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito

22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018 4 2386-2387 2018年
Evaluation of Spin-Coated Alumina Passivation Layer for Point-Contacted Rear Electrode Passivation of Silicon Solar Cells

Ryosuke Watanabe, Tsubasa Koyama, Yoji Saito

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS E100C(1) 101-107 2017年1月査読有り
Alumina Passivation Films Prepared by Wet Process for Silicon Solar Cells Using Aluminum Isopropoxide as a Sol-Gel Precursor

Ryosuke Watanabe, Mizuho Kawashima, Yoji Saito

IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS E100C(1) 108-111 2017年1月査読有り
Random texturing process for multicrystalline silicon solar cells using plasmaless dry etching

Tomoka Abe, Yoshinori Miyasaka, Ryosuke Watanabe, Yoji Saito

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics 34(5) 2016年9月1日査読有り
Random texturing process for multicrystalline silicon solar cells using plasmaless dry etching

Tomoka Abe, Yoshinori Miyasaka, Ryosuke Watanabe, Yoji Saito

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 34(5) 051401-1-051401-7 2016年9月査読有り
Film properties of alumina passivation layer for silicon solar cells prepared by spin-coating method

Ryosuke Watanabe, Mizuho Kawashima, Yoji Saito

THIN SOLID FILMS 590 98-102 2015年9月査読有り
テクスチャ化シリコン基板上スピンコート反射防止膜の光学的特性の改善

山田拓也, 眞利子岳比郎, 渡邊良祐, 齋藤洋司

材料の科学と工学 52(4) 125-127 2015年8月査読有り
Optical Properties of Spin-Coated TiO2 Antireflection Films on Textured Single-Crystalline Silicon Substrates

Ryosuke Watanabe, Yohei Eguchi, Takuya Yamada, Yoji Saito

INTERNATIONAL JOURNAL OF PHOTOENERGY 2015 147836 2015年査読有り
Enhanced decomposition of benzene by non-thermal atmospheric pressure plasma with oxidized titanium electrode

Yasuaki Iwamura, Yoji Saito

IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 135(1) 17-21 2015年査読有り
大気圧プラズマを用いたベンゼン分解のチタン電極酸化処理温度依存性

岩村泰明, 齋藤洋司

材料の科学と工学 51(6) 238-242 2014年12月査読有り
Random-texturing of phosphorus-doped layers for multi-crystalline Si solar cells by plasmaless dry etching

Yoji Saito, Akira Kubota, Shigeto Iwama, Ryosuke Watanabe

Modern Applied Science 8(4) 8-15 2014年査読有り
Evaluation of a New Acid Solution for Texturization of Multicrystalline Silicon Solar Cells

Ryosuke Watanabe, Shuuji Abe, Satoshi Haruyama, Tatsunobu Suzuki, Mitsuo Onuma, Yoji Saito

INTERNATIONAL JOURNAL OF PHOTOENERGY 2013 951303 2013年査読有り

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MISC

ゾル-ゲル法により作製したタングステン・チタンドープ酸化バナジウム膜の電気的特性

宮川雄, 中村翔太郎, 氷室貴大, 齋藤洋司

材料の科学と工学 59(3) 94-97 2022年査読有り最終著者責任著者
スピンコート法で形成したアルミナ薄膜のSi表面パッシベーション効果に関する研究

福田陽樹, 中島義治, 氷室貴大, 渡邊良祐, 齋藤洋司

日本材料科学会学術講演大会講演予稿集 2020 2020年
スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究

中島義治, 氷室貴大, 齋藤洋司, 渡邊良祐

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究

中島義治, 氷室貴大, 渡邊良祐, 齋藤洋司

日本材料科学会学術講演大会講演予稿集 2019 2019年
シリコン太陽電池の新規表面加工技術により発現する光学および電気的特性

齋藤洋司

材料の科学と工学 52(2) 2-5 2015年2月査読有り招待有り
結晶系シリコン太陽電池のドライエッチングによるテクスチャ形成

齋藤洋司

機能材料 30(3) 13-17 2013年3月招待有り
大気圧プラズマによるガラス材料の表面処理

齋藤洋司

静電気学会誌 33(6) 229-233 2009年6月査読有り招待有り
Effects of a Bias Voltage During Hydrogenation on Passivation of the Defects in Polycrystalline Silicon for Solar Cells

Yoji Saito, Hayato Kohata, Hideyuki Sano

AMORPHOUS AND POLYCRYSTALLINE THIN FILM SILICON SCIENCE AND TECHNOLOGY - 2009, VOL 1153 1153 353-358 2009年査読有り
プラズマレスドライエッチングによるシリコン表面処理とその光・電気変換素子作製プロセスへの応用

齋藤洋司

Biomedical Thermology 26(4) 115-121 2007年4月査読有り招待有り
ドライエッチング・クリーニングプロセスを科学する

齋藤洋司

月刊ディスプレイ 10(8) 87-89 2004年8月招待有り
半導体プロセスを科学する

齋藤洋司

炭素 212 108-109 2004年招待有り
An embedded DRAM technology on SOI/bulk hybrid substrate formed with SEG process for high-end SOC application

T Yamada, K Takahashi, H Oyamatsu, H Nagano, T Sato, Mizushima, I, S Nitta, T Hojo, K Kokubun, K Yasumoto …

2002 SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS 112-113 2002年
オージェ電子分光法の原理と表面分析への応用

齋藤洋司

材料の科学と工学 37(3) 139-144 2001年6月招待有り
Enhanced solid-phase-crystallization of tin doped amorphous silicon

Digest of Papers, 1997 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 136-137 1997年
Generation of oxygen vacancies in Zinc oxide films during sputturing process

J80-C-II(3) 115-116 1997年
Synchrotron radiation assisted etching of silicon dioxide films with anhydrous hydrogen fluoride

Photon Factrory Activity Report 12 332 1996年
Flourine removal process on silicon substrates with hydrogen radicals

Proceeding of the third International Conference of Materials and Process Characterization for VLSI,Asia Pacific Microanalysis Association,China 397-400 1994年
A SIMPLE PROCESS FOR REMOVING RESIDUAL FLUORINE AND CHLORINE ON SILICON SURFACE BY LOW-TEMPERATURE ANNEALING IN HYDROGEN AMBIENT

Y SAITO, A YOSHIDA

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY 139(12) L115-L117 1992年12月
Improvement of electrical characteristics in polycrystalline silicon films with fluorine

J74-C2(9) 1991年
SYNCHROTRON RADIATION ASSISTED DEPOSITION OF CARBON-FILMS

H OHASHI, K INOUE, Y SAITO, A YOSHIDA, H OGAWA, K SHOBATAKE

APPLIED PHYSICS LETTERS 55(16) 1644-1646 1989年10月

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書籍等出版物

精密加工と微細構造の形成技術－材料･プロセスの最適化、トラブル対策－

齋藤洋司 (担当:分担執筆, 範囲:ドライエッチングによる太陽電池基板表面への微細構造形成)

技術情報協会 2013年7月
光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御

齋藤洋司 (担当:分担執筆, 範囲:Si太陽電池におけるSiOx反射防止膜の形成)

技術情報協会 2013年6月
太陽電池と部材の開発・製造技術～構造・プロセスから見る、耐久性向上・高効率化を目指した各種事例～

齋藤洋司 (担当:分担執筆, 範囲:各種部材から見た反射防止処理による高効率化技術)

情報機構 2010年3月
太陽電池革新的技術全集 2009版

齋藤洋司 (担当:分担執筆, 範囲:欠陥パッシべーション・光閉じ込め技術による高効率化)

技術情報協会 2009年9月
ガラスの加工技術と製品応用

齋藤洋司 (担当:分担執筆, 範囲:ガラスの表面処理方法とその特性)

情報機構 2009年1月
フィルム・ガラスの表面処理技術の評価・分析

情報機構 2007年 (ISBN: 9784901677882)
電気回路の講義と演習

日新出版 2007年
プロフェッショナル英和辞典スペッドテラ

小学館 2004年
Atomic scale nitridation of silicon oxide surfaces by remote-plasma-excited nitrogen

MRS Symposium Proceedings 2001年
Incorporation and role of nitrogen during oxynitridation of silicon studied by photoelectron spectroscopy

Material Research Socety Sympostum Proceedings 1999年
Low damage nitridation of silicon oxide surfaces by remote-plasma-excited nitrogen

Material Research Society Symposium Proceedings 1999年
Plasmaless dry etching of silicon related materials using reative hologen gas

Recent Research Developement in Electrochemistry(Transworld Research Network, India) 1998年
Highly Selevtive etching of Silicon dioxide films with Vacuum-ultraviolet light excited anhydrous hydrogen fluoride

Digest of Papers,The 8th Internatinal Microprocess Conference 1995年
Surface structure during fluorine removal process with atomic deuterium exposure

Digest of Papers,The 8th Internatinal Microprocess Conference 1995年
Activation of As atoms implanted in Si by Vacuum-ultravioletlight irradiation

Digest of Papers,The 8th Internatinal Microprocess Conference 1995年

講演・口頭発表等

Development of deoxyribonuclease sensor using DNA molecules immobilized between microelectrodes

T. Himuro, S. Tsukamoto, Y. Saito

MicroTAS 2018 2018年11月13日
A study on fabrication process of back contact solar cells using p-type silicon substrates

H. Hayashi, S. Iwama, R. Watanabe, Y. Saito

Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016年7月6日
Preparation of multi-antireflection films on silicon surface by spin coating method

T. Mariko, T. Osakabe, R. Watanabe, Y. Saito

Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016年7月6日
Dry texturing process for crystalline silicon solar cells

SAITO Yoji

Abstract Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2015 2015年8月招待有り
Optical properties and morphologies of spin-coated anti-reflection films on textured silicon solar cells

T. Yamada, Y. Eguchi, R. Watanabe, Y. Saito

Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2015 2015年7月
Evaluation of alumina passivation films for silicon solar cells prepared by spin-coating method

R. Watanabe, M. Kawashima, Y. Saito

Abstract of 2015 Material Research Society Spring Meeting 2015年4月
Surface passivation of silicon solar cells prepared by wet process

R. Watanabe, M. Kawashima, Y. Saito

Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2014 2014年11月招待有り
Random texturing of emitter layers for multi-crystalline Si solar cells by plasmaless dry etching with chlorine trifluoride gas

Y. Saito, A. Kubota, S. Iwama, R. Watanabe

Abstract of 2014 Material Research Society Spring Meeting 2014年4月
Texturing process of crystalline silicon solar cells

齋藤洋司

Abstract 2012 Energy Materials Nanotechnology Fall Meeting 2012年12月招待有り
A study on improved benzene decomposition by atmospheric pressure non-thermal plasma with titanium electrodes

Y. Iwamura, T. Iwamura, Y. Saito

Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2012 2012年7月
Textured structures on multi-crystalline silicon surfaces for solar cells by spontaneous dry etching with a chlorine trifluoride gas and wet etching with an acid solution

Y. Saito, T. Sanda

Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2012 2012年7月
Random texturing of phosphorus-diffused layers for crystalline Si solar cells by plasmaless dry etching with chlorine trifluoride gas

Y. Saito, H. Kohata

Abstract of 2011 Material Research Society Spring Meeting 2011年4月
Effects of a bias voltage during hydrogenation on passivation of the defects in polycrystalline silicon for solar cells

Y. Saito, H. Sano, H. Kohata

Abstract of 2009 Material Research Society Spring Meeting 2009年4月
A study on silicon oxide anti-reflecting films for silicon solar cells

H. Kohata, Y. Saito

Abstract of 2009 Material Research Society Spring Meeting 2009年4月

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

Works(作品等)

大気圧プラズマを用いたガラス基板表面の濡れ性改善

2003年
Research on the cleaning of glass substrates using atmospheric plasma

2003年
ガラス状炭素のエッチング耐性

2001年
Research on glass-like carbon

2001年
地球温暖化対策クリーニングガスの探索

1998年 - 2000年
Research on the etching gas

1998年 - 2000年

共同研究・競争的資金等の研究課題

人と環境に優しい統合化された社会システム研究基盤整備

文部科学省私立大学戦略的研究基盤形成支援事業 2008年9月 - 2013年3月

山崎章弘
多結晶半導体太陽電池におけるプラズマレスドライテクスチャー化プロセスの研究

日本学術振興会科学研究費補助金 2005年4月 - 2008年3月

齋藤洋司
文部科学省私立大学戦略的研究基盤形成支援事業

2003年4月 - 2007年3月

坪村太郎
マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

日本学術振興会科学研究費補助金 2002年4月 - 2005年3月

齋藤洋司
励起窒素酸素によるシリコン絶縁膜形成プロセスの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1995年 - 1995年

齋藤洋司
低エネルギー水素による半導体表面パッシベーションの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(C) 1993年 - 1994年

斎藤洋司
半導体ー金属接触構造のヘリウム準安定原子と吸着キセノン光電子による微視的研究

日本学術振興会科学研究費助成事業重点領域研究 1991年 - 1991年

斎藤洋司
マイクロ波励起リモ-トプラズマを用いた新しい混晶半導体単結晶薄膜成長

日本学術振興会科学研究費助成事業重点領域研究 1991年 - 1991年

吉田明, 斎藤洋司
極端紫外光による高性能アモルファス材料の作製と高効率太陽電池への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業重点領域研究 1991年 - 1991年

吉田明, 斎藤洋司
高効率多層アモルファス太陽電池の高エネルギ照射劣化現象

日本学術振興会科学研究費助成事業重点領域研究 1988年 - 1988年

吉田明, 齋藤洋司, 加藤久雄
シンクロトロン放射光励起によるアモルファス薄膜形成とその評価

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(B) 1987年 - 1988年

吉田明, 小川博司, 齊藤洋司, 並木章
高効率アモルファス太陽電池のシンクロトロン放射光による劣化現象

日本学術振興会科学研究費助成事業重点領域研究 1987年 - 1987年

吉田明, 斎藤洋司, 加藤久雄
半導体の表面処理に関する研究
Etching
Ultrathin gate-dielectric films
Solar Cell materials
Study on surface treatment of semiconductors

齋藤洋司

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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