山内 智
ヤマウチ サトシ (Satoshi YAMAUCHI)
更新日: 03/15
基本情報
- 所属
- 茨城大学 理工学研究科（工学野） 物質科学工学領域 教授
- 学位
-
工学博士(東北大学)
- 研究者番号
- 30292478
- J-GLOBAL ID
- 200901008364965671
- researchmap会員ID
- 5000064191
研究分野
4学歴
1-
- 1991年
主要な論文
64-
Study of Cu-growth feature by selective low-pressure chemical vapor deposition using a CuI precursorJapanese Journal of Applied Physics SH1002 1-5 2023年4月19日 査読有り責任著者
MISC
20-
Proc. International Workshop on Optical Terahertz Science and Technology 2013 Th3-38 2013年4月4日 査読有り
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Proc. 3rd International Symposium on Terahertz Nanoscience 54 2012年12月12日 査読有り
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Proc. 3rd International Symposium on Terahertz Nanoscience 56 2012年12月12日 査読有り
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Proc. International Symposium on Terahertz Nanoscience 204 2011年9月 査読有り
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Proc. 21th International Conference on Optical Fiber Sensors 7753 8011-31 2011年8月 査読有り
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Proc. 21th International Conference on Optical Fiber Sensors 7753 7753-186 2011年6月 査読有り
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The 34th Inte'l Conf. on Infrared, Millimeter, and Terahertz waves M5E27.0371-+ 2009年9月22日 査読有り
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664-665-+ 2007年9月 査読有り
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第１４回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 講演予稿集 68 2006年12月2日
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第４４回CVD研究会 講演予稿集 2006年11月30日 招待有り
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18th International Conference on Optical Fiber Sensors TuE30 2006年10月23日 査読有り
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Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 2005年1月26日
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Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 2005年1月26日
-
Record of Alloy Semiconductor Phys. and Elect. Symp. 12 297-302 1993年10月
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Record of Alloy Semiconductor Phys. and Elect. Symp. 11 175-180 1992年10月
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Proc. Jpn. Symp. Plasma Chemistry 4 267-272 1991年7月
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Record of Alloy Semiconductor Phys. and Elect. Symp. 9 111-116 1990年10月
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Record of Alloy Semiconductor Phys. and Elect. Symp. 8 407-414 1989年10月
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Record of Alloy Semiconductor Phys. and Elect. Symp. 7 471-478 1988年10月
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Proc. Jpn. Symp. Plasma Chemistry 1 67-72 1988年7月
書籍等出版物
2-
サイエンス＆テクノロジー 2018年9月27日 (ISBN: 9784864281706)
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情報機構 2007年8月30日 (ISBN: 9784901677837)
講演・口頭発表等
41-
2023年10月12日 応用物理学会 シリコンテクノロジー分科会
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E-MRS Fall-Meeting 2023 2023年9月19日 European Materials Research Society
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第30回電気学会茨城支所研究発表会 2022年12月17日 電気学会
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ハロゲン利用ミニシンポジウム 2022年11月25日 臭素化学懇話会 招待有り
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第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日 日本応用物理学会
-
第69回 応用物理学会 春季学術講演会 2022年3月25日 日本応用物理学会
-
第29回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2021年12月11日 電気学会
-
第８０回応用物理学会秋季学術講演会 2019年9月18日 日本応用物理学会
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平成 30 年度 電気学会東京支部 茨城支所 研究発表会 2018年11月17日 電気学会
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第２５回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2017年11月18日 電気学会
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第２５回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2017年11月18日 電気学会
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第２５回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2017年11月18日 電気学会
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TSV応用研究会 2016年10月4日 TSV応用研究会 招待有り
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第23回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2015年11月28日 電気学会東京支部茨城支所
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第74回応用物理学会秋季学術講演会 2013年9月18日 応用物理学会
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第74回応用物理学会秋季学術講演会 2013年9月17日 応用物理学会
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第20回電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2012年11月24日
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第７３回応用物学会学術講演会 2012年9月13日
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第７３回応用物学会学術講演会 2012年9月11日
所属学協会
5共同研究・競争的資金等の研究課題
7-
科学技術振興機構(JST) 研究成果展開事業 可能性検証 2023年10月 - 2025年3月
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日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究（C） 2022年4月 - 2025年3月
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東京エレクトロン株式会社 共同研究 2020年2月 - 2023年3月
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【科学研究費助成事業】 基盤研究(C) 2017年4月 - 2020年3月
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日本学術振興会 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究 2012年4月 - 2015年3月
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日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2004年 - 2006年
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日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C) 2001年 - 2002年