豊田 光紀

• 特開2019-070825 露光装置 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第6493325号 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特開2019-032558 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特許第6477814号 露光装置 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特開2017-227906 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特許第6256281号 露光装置及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第6160666号 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特開2016-189029 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第5983689号 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特許第5967132号 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特開2016-026306 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特開2016-001314 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第5790572号 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第5731591号 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

  豊田 光紀
• 特許第5725137号 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第5696746号 照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 

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• 特開2015-008333 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特開2014-195094 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 

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• 特開2014-060444 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 

  西永 壽, 引間 郁雄, 豊田 光紀, 水野 恭志, 北 尚憲, 谷津 修
• 特許第5489034号 反射型投影光学装置 

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